特殊气体属什么行业?
气体在化工原料中的年耗用量约占15%。气体同煤、电和蒸汽一样是工业三大动力之一。气体是当代国民经济的重要支柱,在能源、化工、电子、冶金、机械、国防、轻工和医疗等领域被广泛使用。工业气体工业亦称工业气体行业或气体产业。特殊气体是电子工业用气体中最重要和最特殊的部分。
电子工业用气体简称电子气体,通常分为三类:一是电子特种气体,简称特殊气体或电子气,二是通用工业气体,三是兼有电子气和通用气双重特点的高纯基准气体。
特殊气体(简称电子气体)是一种特种气体,指那些在电子行业被广泛应用的气体。广义上讲,它可以包含几乎所有的各种常用工业气体,但是在特定意义下,它主要指各种高纯和超高纯的一般惰性气体。
电子级高纯气体是作为电子工业原材料的最基础工业原材料,是用于扩散、离子注入、等离子蚀刻、氧化、气相沉积、掺杂、甩硅、清洗、气流抛光、光伏电池、平板显示器和半导体晶圆芯片制造工艺中不可或缺的高纯超纯介质原料气体,是对成品率、集成度和质量有重要影响的关键基础电子材料。